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| エア式 |
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液を充填したシリンジ、カートリッジを使用し、空気、ガスなどを用いて、 |
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タイマ制御加圧する液体の粘性利用方式 |
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| 特徴 |
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接液部品が少なく簡便な利点があるが、時間、温度などによって |
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液体の粘度が変わる場合には量の変化が生じる。 |
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ただし、簡便さは損なわれ高価になるが、画像処理を用いて |
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フィードバックし、精度向上を図ることも行われるようになった。 |
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| バルブ式 |
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シリンジ、カートリッジまたはタンク内の液を、空気、ガスなどを用いて、 |
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常時加圧し、バルブをタイマ制御開閉する液体の粘性利用方式 |
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| 特徴 |
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エア式に比べ、ストックする液量、液の切れなどに違いがあるが、 |
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精度面の特徴はほぼ同じ。 |
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圧力の制御を、液体の液面制御によることで精度向上を図る |
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ことができる。 |
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| シリンダポンプ式 |
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液を密閉したシリンダ内の液全体を、モータ制御のピストン等で押す |
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容積計量ポンプ方式 |
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| 特徴 |
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簡便な容積計量式ではあるが、1回ごとの容積計量方式に比べ |
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ピストン面積が大きく、ばらつきも多くなる。 |
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| チェック弁ポンプ式 |
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一回毎の吐出量をチェック弁（自動弁）付のポンプで押し出す |
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容積計量ポンプ方式 |
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| 特徴 |
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自動弁によりポンプ構造は簡便になるが、流れを止めるタイミングが |
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一定にならず、ばらつきを生じやすい。 |
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圧電素子を用いて液を飛ばすこともできるが精度面では同じ。 |
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| 強制弁ポンプ式 |
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ＮＥＵＢＥＲＧディスペンサの制御方法 |
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一回毎の吐出量を外部操作する弁（強制弁）付のポンプで押し出す |
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容積計量ポンプ方式 |
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| 特徴 |
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構造は複雑になるが、５方式の中では最も精度が良い。 |
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強制弁式にもいろいろな構造のものがあるが、一般的に |
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プランジャ径が細く、ポンプ内のデッドスペースが少ないほど |
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ばらつきは少なくなる。 |
